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金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法

Gold-plated thickness measurement by SEM
標準號:GB/T 17722-1999
基本信息
標準號:GB/T 17722-1999
發布時間:1999-04-01
實施時間:1999-01-02
首發日期:1999-04-11
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 電子光學與其他物理光學儀器
ICS分類:光學設備
起草單位:中國科學院北京科儀研制中心
歸口單位:全國微束分析標準化技術委員會
發布部門:國家質量技術監督局
主管部門:國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了各類金制品的金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法的技術要求,本標準也適用于電子探針儀測量金覆蓋層厚度,適用的厚度測量范圍為0.2~10um。其他金屬材料的覆蓋層厚度的測量也可參照執行。
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