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微電子生產設備安裝工程施工及驗收規范
微電子生產設備安裝工程施工及驗收規范 現行
Code for construction and acceptance of micro-electronics manufacturing equipment installation engineering
標準號：GB 50467-2008
基本信息
標準號：GB 50467-2008
發布時間：2008-12-15
實施時間：2009-07-01
首發日期：
出版單位：中國計劃出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：中國計劃出版社
標準分類： 電子制造業工程
ICS分類：
31電子學
起草單位：中國電子系統工程第二建設有限公司;中國電子科技集團公司第四十五研究所;中國電子科技集團公司第五十八研究所;中國電子科集團公司第二研究所;中國電子工程設計院;信息產業電子第十一設計研究院有限公司;北京七星華創電子股份有限公司;江南大學
發布部門：中華人民共和國住房和城鄉建設部
標準簡介
本規范適用于集成電路、半導體分立器件生產設備安裝工程的施工及驗收。本規范不包括集成電路及半導體分產器件生產設備聯動調試及試生產。
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