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藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法 現(xiàn)行

Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 30857-2014

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 30857-2014
發(fā)布時間：2014-07-24
實(shí)施時間：2015-04-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：魏明德、黃朝暉、劉逸楓、杭寅、徐永亮
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 金屬物理性能試驗(yàn)方法
ICS分類：金屬材料試驗(yàn)
提出單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)及材料分技術(shù)委員會(SAC/TC203/SC2)
起草單位：協(xié)鑫光電科技控股有限公司、中國科學(xué)院上海光機(jī)所、浙江昀豐新能源科技有限公司
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)及材料分技術(shù)委員會(SAC/TC203/SC2)
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了制備氮化鎵薄膜外延片及其他用途的藍(lán)寶石單晶切割片、研磨片、拋光片(簡稱襯底片)厚度和厚度變化是否滿足標(biāo)準(zhǔn)限度要求的測試方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍(lán)寶石襯底片厚度及厚度變化的測試。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)按照 GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)及材料分技術(shù)委員會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位:協(xié)鑫光電科技控股有限公司、中國科學(xué)院上海光機(jī)所、浙江昀豐新能源科技有限公司。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:魏明德、黃朝暉、劉逸楓、杭寅、徐永亮。

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