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電子工業(yè)用氣體　三氯化硼 現(xiàn)行

Gases for electronic industry-Boron trichloride

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 17874-2010

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 17874-2010
發(fā)布時間：2011-04-01
實(shí)施時間：2011-05-01
首發(fā)日期：1999-09-16
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：孫福楠、方華、莊鴻濤、周鵬云
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會(SAC/TC 203/SC 1)
起草單位：西南化工研究設(shè)計院、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、光明化工研究設(shè)計院
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會(SAC/TC 203/SC 1)
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會(SAC/TC 203/SC 1)

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三氯化硼的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、精餾等方法提純制得的三氯化硼，主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝。

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