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藍寶石襯底片翹曲度測試方法 現(xiàn)行

Test methods for warp of sapphire substrates

標準號：GB/T 31352-2014

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基本信息

標準號：GB/T 31352-2014
發(fā)布時間：2014-12-31
實施時間：2015-09-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：薛抗美、魏明德、黃修康、杭寅、夏根平、肖宗杰
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 金屬物理性能試驗方法
ICS分類：金屬材料的其他試驗方法
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC 203/SC 2)
起草單位：江蘇協(xié)鑫軟控設備科技發(fā)展有限公司、中國科學院上海光學精密機械研究所、北京合能陽光新能源技術有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC 203/SC 2)
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)、全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/T

標準簡介

本標準規(guī)定了藍寶石切割片、研磨片、拋光片（以下簡稱藍寶石襯底片）翹曲度的測試方法提要、干擾因素、儀器和設備、試樣、測試環(huán)境、測試程序、測試結果的計算、精密度以及試驗報告。 本標準適用于直徑50.8mm～304.8mm，厚度為不小于200μm的藍寶石襯底片翹曲度的測試。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)和全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。
本標準起草單位:江蘇協(xié)鑫軟控設備科技發(fā)展有限公司、中國科學院上海光學精密機械研究所、北京合能陽光新能源技術有限公司。
本標準主要起草人:薛抗美、魏明德、黃修康、杭寅、夏根平、肖宗杰。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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