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微米級長度的掃描電鏡測量方法通則

General rules for measurement of length in micron scale by SEM
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 16594-2008
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號:GB/T 16594-2008
發(fā)布時(shí)間:2008-09-18
實(shí)施時(shí)間:2009-05-01
首發(fā)日期:1996-11-04
出版單位:中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:張訓(xùn)彪、盧德生、鄧保慶、丁臻敏、劉悅、高文華、徐國照
出版機(jī)構(gòu):中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 電化學(xué)、熱化學(xué)、光學(xué)式分析儀器
ICS分類:有關(guān)化學(xué)分析方法的其他標(biāo)準(zhǔn)
提出單位:全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
起草單位:上海理工大學(xué)、上海寶能源技術(shù)有限公司、同濟(jì)大學(xué)、上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院、中國船舶重工集團(tuán)公司第研究所。
歸口單位:全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門:國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T 16594-1996《微米級長度的掃描電鏡測量方法》。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微米級長度的掃描電鏡測量方法的通用原則。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T 16594-1996相比主要變化如下:———將“測量方法”改為“測量方法通則”;———將“誤差分析”改為“不確定度評定”;———增加樣品變形產(chǎn)生的不確定度評定;———改用實(shí)驗(yàn)方法獲取圖像測量的瞄準(zhǔn)不確定度量值;———增加“被測長度方向的調(diào)整”附錄。
標(biāo)準(zhǔn)摘要
本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T16594-1996《微米級長度的掃描電鏡測量方法》。 本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T16594-1996相比主要變化如下: ---將測量方法改為測量方法通則; ---將誤差分析改為不確定度評定; ---增加樣品變形產(chǎn)生的不確定度評定; ---改用實(shí)驗(yàn)方法獲取圖像測量的瞄準(zhǔn)不確定度量值; ---增加被測長度方向的調(diào)整附錄。 本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A 為規(guī)范性附錄,附錄B~附錄D 為資料性附錄。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位:上海元寶能源技術(shù)有限公司、上海理工大學(xué)、上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院、同濟(jì)大學(xué)、中國船舶重工集團(tuán)公司第725研究所。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:張訓(xùn)彪、盧德生、鄧保慶、丁臻敏、劉悅、高文華、徐國照。 本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為: ---GB/T16594-1996。 |
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