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電子工業用氣體 氧 現行

Gas for electronic industry—Oxygen

標準號：GB/T 14604-2009

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基本信息

標準號：GB/T 14604-2009
發布時間：2009-10-30
實施時間：2010-05-01
首發日期：1993-08-26
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：周澤義、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
起草單位：中國計量科學研究院、西南化工研究設計院
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會

標準簡介

本標準規定了電子工業用氧的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以深冷法、電解法提取的氣態或液態氧,以及經純化方法得到的氧。它們主要用于二氧化硅化學氣相淀積,用作氧化源和生產高純水的反應劑,用于等離子體蝕刻和剝離、光導纖維。

標準摘要

本標準代替GB/T14604-1993《電子工業用氣體 氧》。
本標準與GB/T14604-1993相比主要變化如下:
---修改電子工業用氧的適用范圍(GB/T14604-1993的第1章,本版的第1章);
---修改規范性引用文件(GB/T14604-1993的第2章,本版的第2章);
---修改技術指標內容(GB/T14604-1993的第3章,本版的第3章);
---修改瓶裝電子工業用氧采樣要求(GB/T14604-1993的4.1,本版的4.1.3);
---修改瓶裝電子工業用氧抽樣方法(GB/T14604-1993的第5章,本版的4.1.1、4.1.2、4.1.4);
---修改氫、氬、氮、氪、一氧化碳、二氧化碳、氧化亞氮、總烴和水含量的分析方法和標準樣品的規定,當出現多種分析方法時,規定仲裁方法(GB/T14604-1993 的4.3、4.4、4.5、4.6、4.7、4.8,本版的4.3、4.4、4.6、4.7、4.8);
---增加一氧化氮含量的分析方法(本版的4.5);
---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T14604-1993的第6章、第7章,本版的第5章);
---刪去GB/T14604-1993的附錄A 和附錄B;
---增加規范性附錄A,并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業用氧中的氫、氬、氮和氪組分的方法寫入該附錄(見附錄A);
---增加規范性附錄B,并把采用氦離子化氣相色譜法測定電子工業用氧中的一氧化碳、二氧化碳和氧化亞氮組分的方法寫入該附錄(見附錄B)。
本標準的附錄A、附錄B為規范性附錄。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。
本標準起草單位:中國計量科學研究院、西南化工研究設計院。
本標準主要起草人:周澤義、周鵬云。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
---GB/T14604-1993。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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