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砷化鎵單晶AB微缺陷檢驗(yàn)方法 現(xiàn)行

The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 18032-2000

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 18032-2000
發(fā)布時(shí)間：2000-04-03
實(shí)施時(shí)間：2000-09-01
首發(fā)日期：2000-04-03
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：王海濤、錢嘉裕、王彤涵、宋斌、樊成才
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 金相檢驗(yàn)方法
ICS分類：金屬材料試驗(yàn)綜合
提出單位：國(guó)家有色金屬工業(yè)局
起草單位：北京有色金屬研究總院
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門：國(guó)家技術(shù)質(zhì)量監(jiān)督局
主管部門：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了砷化鎵單晶AB微缺陷的檢驗(yàn)方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于砷化鎵單晶AB微缺陷密度的檢驗(yàn)。

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