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電子薄膜用高純鈦濺射靶材 現行

High-purity sputtering titanium target used in electronic film

標準號：YS/T 893-2013

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基本信息

標準號：YS/T 893-2013
發布時間：2013-10-17
實施時間：2014-03-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：何金江、董亭義、袁海軍、羅俊鋒、滕海濤、喻潔、賀昕、錢紅兵、周辰、劉丹、陸靈芝、王學澤、熊曉東
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 稀有輕金屬及其合金
ICS分類：鈦產品
起草單位：有研億金新材料股份有限公司、寧波江豐電子材料有限公司
歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員(SAC/TC 243)
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
主管部門：全國有色金屬標準化技術委員(SAC/TC 243)

標準簡介

本標準規定了電子薄膜用高純鈦濺射靶材的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存及質量證明與合同(訂單)等內容。本標準適用于電子薄膜制造用的各類鈦濺射靶材。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國有色金屬標準化技術委員(SAC/TC243)歸口。
本標準起草單位:有研億金新材料股份有限公司、寧波江豐電子材料有限公司。
本標準主要起草人:何金江、董亭義、袁海軍、羅俊鋒、滕海濤、喻潔、賀昕、錢紅兵、周辰、劉丹、陸靈芝、王學澤、熊曉東。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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