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納米級(jí)長度的掃描電鏡測量方法通則

General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 20307-2006
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 20307-2006
發(fā)布時(shí)間:2006-07-19
實(shí)施時(shí)間:2007-02-01
首發(fā)日期:2006-07-19
出版單位:中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:張訓(xùn)彪、曾榮樹、廖宗廷、盧德生、劉芬、李戎、周劍雄、鄧保慶等
出版機(jī)構(gòu):中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 電子光學(xué)與其他物理光學(xué)儀器
ICS分類:長度和角度測量
提出單位:全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
起草單位:中國科學(xué)院地質(zhì)與地球物理研究所、同濟(jì)大學(xué),中國科學(xué)院化學(xué)所,中國地質(zhì)科學(xué)院礦產(chǎn)資源研究所,上海理工大學(xué)
歸口單位:全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門:國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測量納米級(jí)長度的基本原則。適用于測量10nm-500nm的點(diǎn)或線的間距。
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