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半導體硅材料中雜質元素的活化分析方法
半導體硅材料中雜質元素的活化分析方法 已廢止
The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials
標準號：GB 4298-1984
基本信息
標準號：GB 4298-1984
發布時間：1984-03-28
實施時間：1985-03-01
首發日期：1984-03-28
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：周云鹿、章家鼎
作廢日期：2017-12-15
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 半金屬及半導體材料分析方法
ICS分類：
29.040.30
提出單位：有色金屬總公司
起草單位：有色金屬研究總院
歸口單位：中國有色金屬工業協會
發布部門：國家標準局
主管部門：中國有色金屬工業協會
標準簡介
本標準適用于單晶硅、多晶硅中金屬雜質素和非金屬雜質素含量的測定。本標準包括雜質素（十六個）的反應堆中子活化儀器分析方法、銅和砷的反應堆中子活化放射化分離分析方法、磷的反應堆中子活化放射化分離分析方法、氧的α粒子活化儀器分析方法和碳的氘子活化儀器分析方法。
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