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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 12962-2015

發(fā)布時間：2015-12-10

實施時間：2017-01-01

首發(fā)日期：

出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>

起草人：孫燕、張果虎、張雪囡、黃笑容、樓春蘭、王飛堯、朱興萍、何良恩、徐新華、楊素心、由佰玲、李麗妍

出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社

標(biāo)準(zhǔn)分類：元素半導(dǎo)體材料

ICS分類：半導(dǎo)體材料

提出單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分會(SAC/TC　203/SC 2)

起草單位：有研新材料股份有限公司、天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司、浙江中晶科技股份有限公司、浙江省硅材料質(zhì)量檢驗中心、杭州海納半導(dǎo)體有限公司、萬向硅峰電子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、中國有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計量質(zhì)量研究所等

歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分會(SAC/TC　203/SC 2)

發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

主管部門：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分會(SAC/T

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單晶的牌號及分類、要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、質(zhì)量證明書和訂貨單(或合同)內(nèi)容等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于直拉法、懸浮區(qū)熔法(包括中子嬗變摻雜和氣相摻雜)制備的直徑不大于200mm 的硅單晶。產(chǎn)品主要用于制作半導(dǎo)體元器件。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T12962—2005《硅單晶》。本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T12962—2005相比,主要變化如下:
———增加了直徑小于或等于50.8mm 直拉硅單晶及要求(見5.1.1);
———增加了直徑200mm 區(qū)熔硅單晶及要求(見5.1.1);
———增加了對直拉硅單晶的載流子壽命要求(見5.2.1);
———修訂了n型區(qū)熔高阻硅單晶電阻率范圍的要求(見5.2.1);
———增加了摻雜比為F5 的中子嬗變摻雜硅單晶的要求(見5.2.1);
———修訂了摻雜比為F10 的中子嬗變摻雜硅單晶的徑向電阻率變化及少數(shù)載流子壽命要求(見5.2.1);
———修訂了氣相摻雜區(qū)熔硅單晶的直徑、電阻率及少數(shù)載流子壽命等要求(見5.2.1);
———“金屬含量”要求中刪除了“重?fù)诫s直拉硅單晶的基硼、基磷含量由供需雙方商定提供”內(nèi)容(見5.8);
———取樣由文字描述改為表6;
———增加了訂貨單內(nèi)容(見第9章)。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC203)與全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:有研新材料股份有限公司、天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司、浙江中晶科技股份有限公司、浙江省硅材料質(zhì)量檢驗中心、杭州海納半導(dǎo)體有限公司、萬向硅峰電子股份有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、中國有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計量質(zhì)量研究所、廣東泰卓光電科技股份有限公司。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:孫燕、張果虎、張雪囡、黃笑容、樓春蘭、王飛堯、朱興萍、何良恩、徐新華、楊素心、由佰玲、李麗妍。
本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為:
———GB/T12962—1991、GB/T12962—1996、GB/T12962—2005。

替代情況

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采標(biāo)情況

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