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濺射離子泵 型式與基本參數 已作廢

標準號：JB/T 4081-1991

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基本信息

標準號：JB/T 4081-1991
發布時間：1991-07-22
實施時間：1992-07-01
首發日期：
出版單位：機械工業出版社查看詳情>
起草人：馮玉國
作廢日期：2012-04-01
出版機構：機械工業出版社
標準分類： 真空技術與設備
提出單位：全國真空技術標準化技術委員會
起草單位：機械電子工業部沈陽真空技術研究所
歸口單位：全國真空技術標準化技術委員會
發布部門：國家機械工業局

標準簡介

本標準規定了普通型式的濺射離子泵的型式與基本參數。本標準適用于二電位的二極型和三極型濺射離子泵。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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