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電子薄膜用高純鈷靶材

High-purity cobalt sputtering target used in electronic film
標準號:YS/T 1053-2015
基本信息
標準號:YS/T 1053-2015
發布時間:2015-04-30
實施時間:2015-10-01
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:王學澤、李勇軍、鄭文翔、羅俊鋒、袁海軍、熊曉東、陳勇軍、劉丹、陸彤、袁潔、張濤
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 重金屬及其合金
ICS分類:鎘和鈷產品
提出單位:全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
起草單位:寧波江豐電子材料股份有限公司、有研億金新材料有限公司
歸口單位:全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
發布部門:中華人民共和國工業和信息化部
主管部門:全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC 243)
標準簡介
本標準規定了電子薄膜用高純鈷靶材的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存、質量證明書及訂貨單(或合同)內容。本標準適用于電子薄膜制造用的各類高純鈷靶。
標準摘要
本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)提出并歸口。 本標準負責起草單位:寧波江豐電子材料股份有限公司、有研億金新材料有限公司。 本標準主要起草人:王學澤、李勇軍、鄭文翔、羅俊鋒、袁海軍、熊曉東、陳勇軍、劉丹、陸彤、袁潔、張濤。 |
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