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磁控濺射設備通用技術條件 現行

General specification for magnetic sputtering equipment

標準號：SJ/T 10478-1994

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基本信息

標準號：SJ/T 10478-1994
發布時間：1994-04-11
實施時間：1994-10-01
首發日期：
出版單位：電子工業部標準化研究查看詳情>
起草人：
出版機構：電子工業部標準化研究
標準分類： 技術管理

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