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硅--藍寶石外延片 現(xiàn)行

Silicon on sapphire epitaxial wafers

標準號：GB/T 14015-1992

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基本信息

標準號：GB/T 14015-1992
發(fā)布時間：1992-01-02
實施時間：1993-08-01
首發(fā)日期：1992-12-28
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
出版機構(gòu)：中國標準出版社
標準分類： 電子技術(shù)專用材料
ICS分類：  29.040.30
起草單位：天津半導體技術(shù)研究所
歸口單位：全國半導體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規(guī)定了藍寶石襯底上生長的單晶硅外延片的技術(shù)要求、測試方法、檢驗規(guī)則。本標準適用于半導體器件用藍寶石襯底上生長的單晶硅外延片。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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