X射線反射法測量薄膜的厚度、密度和界面寬度 儀器要求、準直和定位、數據采集、數據分析和報告 現行
Evaluation of thickness,density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements,alignment and positioning,data collection,data analysis and reporting
標準號：GB/T 36053-2018
本標準規定了通過X射線反射技術（XRR）來測量平面襯底上厚度介于約1 nm至1 μm之間的單層和多層薄膜的厚度、密度和界面寬度的方法。 本方法使用單色化的平行光進行角度或散射矢量掃描。類似的考慮事項適用于使用分布式探測器進行平行數據采集的會聚光束或者掃描波長的情形，但本標準不描述這些方法。對于X射線漫反射技術而言，實驗要求是相似的，但本標準不包括這部分內容。 測量可在具有不同配置的設備上進行。這些設備包含實驗室儀器、同步輻射光束線上的反射率計以及工業中的自動系統等。 應注意的是，數據采集時，薄膜可能存在的不穩定性將會引起測量結果準確度下降。XRR使用單波長入射X射線束、不能提供薄膜的化學信息，因此應注意樣品表面可能產生的污染或反應。表面變化會嚴重影響最外層薄膜測量結果的準確性。
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