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光伏電池用硅材料中金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法 現行

Test method for measuring metallic impurities content in silicon materials used for photovoltaic applications by inductively coupled plasma mass spectrometry

標準號:GB/T 31854-2015

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基本信息

標準號:GB/T 31854-2015
發布時間:2015-07-03
實施時間:2016-03-01
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:褚連青、王奕、徐靜、王鑫、何秀坤、裴會川、馮亞彬、魯文峰、余慧茹、張雪囡
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 元素半導體材料
ICS分類:半導體材料
提出單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)及材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)
起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、江蘇中能硅業科技發展有限公司、洛陽中硅高科技有限公司、國家電子功能與輔助材料質量監督檢驗中心、天津市環歐半導體材料技術有限公司
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)及材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)
發布部門:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規定了利用電感耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)測定光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質含量的方法。本標準適用于光伏電池用硅材料中痕量體金屬雜質鐵、鉻、鎳、銅、鋅含量的測定。各元素的測量范圍見表1。

標準摘要

本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。
請注意本文件的某些內容可能涉及專利。本文件的發布機構不承擔識別這些專利的責任。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)及材料分技術委員會(SAC/TC203/SC2)共同提出并歸口。
本標準起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、江蘇中能硅業科技發展有限公司、洛陽中硅高科技有限公司、國家電子功能與輔助材料質量監督檢驗中心、天津市環歐半導體材料技術有限公司。
本標準主要起草人:褚連青、王奕、徐靜、王鑫、何秀坤、裴會川、馮亞彬、魯文峰、余慧茹、張雪囡。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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