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濺射靶材-背板結合質量超聲波檢驗方法 現行

Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies

標準號：YS/T 837-2012

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基本信息

標準號：YS/T 837-2012
發布時間：2012-11-07
實施時間：2013-03-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：劉紅賓、尚再艷、何金江、王欣平、熊曉東、呂保國、江軒、朱曉光、王永輝、何雙起、楊平。
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 貴金屬及其合金
ICS分類：其他有色金屬及其合金
起草單位：有研億金新材料股份有限公司、中國計量科學研究院、航天703所
歸口單位：全國有色金屬標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
主管部門：全國有色金屬標準化技術委員會

標準簡介

本標準規定了濺射用靶材-背板結合質量超聲縱波脈沖反射液浸法C掃描檢驗技術的一般方法。內容包括一般要求、檢驗設備、對比試塊、檢驗過程、缺陷評定及檢驗報告等。本標準適用于用中間層材料結合方式（如軟釬焊、硬釬焊和環氧樹脂粘接等）的濺射靶材-背板結合面的孔洞、未結合、氧化物夾雜等缺陷的檢驗。其他用途的材料結合質量無損檢測也可參照使用。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國有色金屬標準化技術委員會(SAC/TC243)歸口。
本標準起草單位:有研億金新材料股份有限公司、中國計量科學研究院、航天703所。
本標準主要起草人:劉紅賓、尚再艷、何金江、王欣平、熊曉東、呂保國、江軒、朱曉光、王永輝、何雙起、楊平。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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