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硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法 已作廢

Polycrystalline silicon; Examination method; Assessment of sandwiches on cross-section by chemical corrosion

標準號：GB/T 4061-1983

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基本信息

標準號：GB/T 4061-1983
發布時間：1983-01-02
實施時間：1984-01-02
首發日期：1983-12-20
起草人：
作廢日期：2010-06-01
標準分類： 金屬化學性能試驗方法
ICS分類：金屬材料化學分析
起草單位：峨嵋半導體材料廠
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家標準局
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準適用于三氯氫硅及四氯化硅氫還原在細硅芯上沉積硅多晶所生長出來的硅多晶棒。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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