電子工業用氣體 氧 已作廢
Gases for electronic industry. Oxygen
標準號：GB/T 14604-1993
基本信息
標準號：GB/T 14604-1993
發布時間：1993-08-26
實施時間：1994-07-01
首發日期：1993-08-26
起草人：
作廢日期：2010-05-01
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了電子工業用氣體氧和散裝液態氧的技術要求，檢驗方法，檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。電子工業用氧主要用于二氧化硅化學氣相淀積，用作氧化源和生產高純水的反應劑，用于等離子體蝕刻和剝離。也可用于光導纖維。
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