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俄歇電子能譜與X射線光電子能譜測試中確定檢測信號(hào)對(duì)應(yīng)樣品區(qū)域的通則 現(xiàn)行

Standard practice for determination of the specimen area contributing to the detected signal in Auger electron spectrometers and some X-ray photoelectron spectrometers

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 31470-2015

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 31470-2015
發(fā)布時(shí)間：2015-05-15
實(shí)施時(shí)間：2016-01-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：李雨辰、何秀坤、劉筠、劉兵、李翔
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 綜合測試系統(tǒng)
ICS分類：電和磁量值的測量
提出單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)
起草單位：信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、蘇州晶瑞化學(xué)有限公司、天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了俄歇電子能譜和部分類型的 X射線光電子能譜檢測信號(hào)對(duì)應(yīng)樣品區(qū)域的確定方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜儀和具有以下條件的 X射線光電子能譜:入射 X光束激發(fā)的樣品區(qū)域大于分析器可檢測到的樣品區(qū)域;光電子從樣品到分析器入口的過程中經(jīng)過自由空間;裝配有輔助電子槍可以產(chǎn)生一束可變能量的電子束照射到樣品上。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)按照 GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、蘇州晶瑞化學(xué)有限公司、天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:李雨辰、何秀坤、劉筠、劉兵、李翔。

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