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掃描電子顯微鏡 試驗方法

基本信息
標準號:JB/T 6842-1993
發布時間:1993-07-09
實施時間:1994-01-01
首發日期:
出版單位:機械工業出版社查看詳情>
起草人:
出版機構:機械工業出版社
標準分類: 電子光學與其他物理光學儀器
提出單位:上海電子光學技術研究所
起草單位:上海電子光學技術研究所
歸口單位:上海電子光學技術研究所
發布部門:中華人民共和國機械工業部
標準簡介
本標準規定了掃描電子顯微鏡的試驗方法。本標準適用于掃描電鏡主機性能的試驗。
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