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表面化學分析 X射線光電子能譜儀 能量標尺的校準

Surface chemical analysis—X-ray photoelectron spectrometers—Calibration of energy scales
標準號:GB/T 22571-2017
基本信息
標準號:GB/T 22571-2017
發布時間:2017-09-07
實施時間:2018-01-01
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:趙志娟、丁訓民、吳揚、虞玲、劉芬、章小余
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 基礎標準與通用方法
ICS分類:化學分析
提出單位:全國微束分析標準化技術委員會
起草單位:中國科學院化學研究所、復旦大學
歸口單位:全國微束分析標準化技術委員會
發布部門:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了一種用于一般分析目的時校準X射線光電子能譜儀結合能標尺的方法,該譜儀使用非單色化Al或Mg X射線或單色化Al X射線。它僅適于帶有濺射清潔用的離子槍的儀器。本標準還進一步規定了一種方法,用以建立校準程序、在中間某一能量值測試結合能標尺線性度、在高低結合能區各取一點確認標尺校準的不確定度、對標尺的小漂移作修正以及規定在95%置信度時該結合能標尺校準的擴展不確定度。這個不確定度包括來自實驗室際研究中觀察到的現象的貢獻,但不涵蓋所有可能發生的缺陷。本標準不適用有下述情況的儀器:結合能標尺的誤差隨能量明顯非線性變化、工作在固定減速比模式且減速比小于10、譜儀的分辨率差于1.5 eV或者要求容差極限為 ±0.03 eV或更小。本標準不提供全標尺校準檢驗,該檢驗要對每一個在能量標尺上能找到的點加以驗證,需按儀器制造商的推薦程序進行。
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