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濺射離子泵 技術條件 已作廢

標準號：JB/T 4082-1991

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基本信息

標準號：JB/T 4082-1991
發(fā)布時間：1991-07-22
實施時間：1992-07-01
首發(fā)日期：
出版單位：機械工業(yè)出版社查看詳情>
起草人：馮玉國
作廢日期：2012-04-01
出版機構：機械工業(yè)出版社
標準分類： 真空技術與設備
提出單位：全國真空技術標準化技術委員會
起草單位：機械電子工業(yè)部沈陽真空技術研究所
歸口單位：全國真空技術標準化技術委員會
發(fā)布部門：國家機械工業(yè)局

標準簡介

本標準規(guī)定了普通型式濺射離子泵的技術要求、檢驗規(guī)則、試驗方法、包裝、貯存等。本標準適用于JB/T 4081所規(guī)定的二極型(L型)和三極型(3L型)的濺射離子泵(以下簡稱泵)。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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