基本信息
標準號：GB/T 11446.1-2013
發布時間：2013-12-31
實施時間：2014-08-15
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：褚連青、王奕、何秀坤、段曙光、提劉旺、劉筠
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子技術專用材料
ICS分類：
31-030
提出單位：中華人民共和國工業和信息化部
起草單位：信息產業部專用材料質量監督檢驗中心、中國科學院半導體研究所、中國電子技術標準化研究院、中國電子科技集團公司第四十六研究所
歸口單位：中國電子技術標準化研究院
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：中國電子技術標準化研究院
標準簡介
GB/T11446的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢驗規則。本部分適用于電子和半導體工業用高純清洗用水。
標準摘要
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GB/T11446預計結構如下: ———GB/T11446.1 電子級水; ———GB/T11446.2 (待定); ———GB/T11446.3 電子級水測試方法通則; ———GB/T11446.4 電子級水電阻率的測試方法; ———GB/T11446.5 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法; ———GB/T11446.6 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法; ———GB/T11446.7 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法; ———GB/T11446.8 電子級水中總有機碳的測試方法; ———GB/T11446.9 電子級水中微粒的儀器測試方法; ———GB/T11446.10 電子級水中細菌總數的濾膜培養測試方法。 本部分為GB/T11446的第1部分。 本部分按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。 本部分代替GB/T11446.1—1997《電子級水》。 本部分與GB/T11446.1—1997相比,主要有下列變化: ———“3術語和定義”中增加了“離子交換樹脂”、“無菌”和“pH”的定義(見第3章); ———修改了“5要求”中“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”級水的電阻率指標(見第5章); ———修訂了“5要求”中“EW-Ⅰ”、“EW-Ⅱ”、“EW-Ⅲ”和“EW-Ⅳ”級水的微粒數指標(見第5章); ———“5要求”中增加了“鐵”和“鉛”金屬離子及“氟”、“亞硝酸根”和“溴”陰離子的要求和指標(見第5章); ———“6 試驗方法”中增加了“鐵”、“鉛”、“氟離子”、“亞硝酸根離子”和“溴離子”的檢測方法(見第6章)。 本部分由中華人民共和國工業和信息化部提出。 本部分由中國電子技術標準化研究院歸口。 本部分起草單位:信息產業部專用材料質量監督檢驗中心、中國科學院半導體研究所、中國電子技術標準化研究院、中國電子科技集團公司第四十六研究所。 本部分主要起草人:褚連青、王奕、何秀坤、段曙光、提劉旺、劉筠。 本部分所代替標準的歷次版本發布情況為: ———GB/T11446.1—1989、GB/T11446.1—1997。 |
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