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電子工業用氣體 三氟化硼 現行

Gases for electronic industry—Boron trifluoride

標準號：GB/T 14603-2009

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基本信息

標準號：GB/T 14603-2009
發布時間：2009-10-30
實施時間：2010-05-01
首發日期：1993-08-26
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：鄧建平、倪志強、孫福楠、周鵬云
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
起草單位：核工業理化工程研究院、大連光明化工研究院、西南化工研究設計院
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會

標準簡介

本標準規定了電子工業用三氟化硼的技術要求、試驗方法、檢驗規則、包裝、標志、貯運及安全要求。本標準適用于以氟氣和硼單質為原料,采用直接化合的方法制得并經過純化制取的三氟化硼;和以氟硼酸鈉為原料熱分解法制得并經過純化制取的三氟化硼。主要用于半導體器件和集成電路生產的離子注入和摻雜。

標準摘要

本標準代替GB/T14603-1993《電子工業用氣體 三氟化硼》。
本標準與GB/T14603-1993相比主要區別如下:
---修改三氟化硼的適用范圍(GB/T14603-1993的第1章,本版的第1章);
---修改規范性引用文件(GB/T14603-1993的第2章,本版的第2章);
---修改三氟化硼的技術指標內容(GB/T14603-1993的第3章,本版的第3章);
---增加三氟化硼采樣安全要求(本版的4.1.2);
---修改氮、氧(氬)含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.3);
---修改二氧化硫含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.6);
---增加二氧化碳、四氟化碳含量的分析方法(見本版的4.3);
---修改標志、包裝、貯運及安全(GB/T14603-1993的第6章、第7章,本版的第5章);
---增加資料性附錄A,并把測定三氟化硼中的氮、氧(氬)、二氧化碳和四氟化碳含量的色譜切割流程圖寫入該附錄(見附錄A)。
本標準的附錄A 為資料性附錄。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會歸口。
本標準起草單位:核工業理化工程研究院、大連光明化工研究院、西南化工研究設計院。
本標準主要起草人:鄧建平、倪志強、孫福楠、周鵬云。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
---GB/T14603-1993。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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