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非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統校準規范
基本信息
標準號：JJF(電子)0072-2021
發布時間：2021-12-02
實施時間：2022-04-01
首發日期：
起草人：
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
標準簡介
本本規范適用于測試范圍在 0.1Ω·cm~200.0Ω·cm(厚度 100 μm~1000μm)的非接觸渦流法半導體晶片電阻率測試系統的校準。電阻率測試系統主要是利用無接觸電渦流探頭系統，檢測由被測半導體晶片感應的渦流，輔以控制器進行信號處理完成對半導體晶片電阻率的無損測量。它主要由渦流探頭、高頻線圈和控制器等部分組成。
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