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離子束蝕刻機通用技術條件
離子束蝕刻機通用技術條件 已作廢
Generic specification of ion beam etching system
標準號：GB/T 15861-1995
基本信息
標準號：GB/T 15861-1995
發布時間：1995-01-02
實施時間：1996-08-01
首發日期：1995-12-22
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2013-02-15
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 加工專用設備
ICS分類：集成電路、微電子學
起草單位：電子部長沙半導體工藝設備所
歸口單位：信息產業部（電子）
發布部門：國家技術監督局
主管部門：信息產業部（電子）
標準簡介
本標準規定了離子束蝕刻機的術語、產品分類、技術要求、試驗方法、檢驗規則以及包裝、運輸、貯存等。本標準適用于物理濺射腐蝕作用的通用離子束蝕刻機。
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