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表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測(cè)定 現(xiàn)行

Surface chemical analysis—Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy—Determination of lateral resolution

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 28632-2012

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 28632-2012
發(fā)布時(shí)間：2012-07-31
實(shí)施時(shí)間：2013-02-01
首發(fā)日期：2012-07-31
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：徐建、陸敏、吳立敏、朱麗娜、辛立輝、何丹農(nóng)、張冰
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)： 基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與通用方法
ICS分類(lèi)：化學(xué)分析
提出單位：全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 38)
起草單位：上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、納米技術(shù)及應(yīng)用國(guó)家工程研究中心
歸口單位：全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 38)
發(fā)布部門(mén)：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門(mén)：全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 38)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了三種條件下測(cè)量俄歇電子能譜儀和X射線光電子能譜儀橫向分辨率的方法。直邊法適用于橫向分辨率預(yù)期值大于1μm 的儀器。柵格法適合于橫向分辨率預(yù)期值大于20nm,小于1μm 的儀器。金島法則適用于橫向分辨率預(yù)期值小于50nm 的儀器。附錄A、附錄B和附錄C給出了測(cè)量橫向分辨率的帶圖的實(shí)例。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)采用翻譯法等同采用ISO18516:2006《表面化學(xué)分析 俄歇電子能譜和X射線光電子能譜 橫向分辨率測(cè)定》。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC38)提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、納米技術(shù)及應(yīng)用國(guó)家工程研究中心。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:徐建、陸敏、吳立敏、朱麗娜、辛立輝、何丹農(nóng)、張冰。

標(biāo)準(zhǔn)目錄

前言 Ⅰ
1 范圍 1
2 規(guī)范性引用文件 1
3 術(shù)語(yǔ)、定義、符號(hào)和縮略語(yǔ) 1
4 一般信息 2
5 直邊法測(cè)量橫向分辨率 3
6 柵格法測(cè)量橫向分辨率 8
7 金島法測(cè)量橫向分辨率 10
附錄A (資料性附錄) 帶聚焦X射線束斑的XPS儀器橫向分辨率測(cè)定 14
附錄B(資料性附錄) 二次電子線掃描譜橫向分辨率測(cè)定 16
附錄C (資料性附錄) 俄歇電子線掃描譜橫向分辨率測(cè)定 17
參考文獻(xiàn) 19

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