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電子工業用氣體 三氯化硼
電子工業用氣體 三氯化硼 已作廢
Gases for electronic industry--Boron trichloride
標準號：GB/T 17874-1999
基本信息
標準號：GB/T 17874-1999
發布時間：1999-09-01
實施時間：2000-06-01
首發日期：1999-09-16
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2011-05-01
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
起草單位：光明化工研究設計院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家質量技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了電子工業用三氯化硼氣體的要求、檢驗方法、檢驗規則以及包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。本標準適用于以粗制三氯化硼為原料，采用吸附、蒸餾的方法提純制得的三氯化硼，主要用于電子工業硅半導體器件和集成電路生產所用的擴散、離子注入、干法蝕刻等工藝。
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