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俄歇電子能譜分析方法通則 現(xiàn)行

General rules for Auger electron spectroscopic analysis

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 26533-2011

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 26533-2011
發(fā)布時(shí)間：2011-05-12
實(shí)施時(shí)間：2011-12-01
首發(fā)日期：2011-05-12
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：姚文清、李展平、曹立禮、朱永法
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 電子光學(xué)與其他物理光學(xué)儀器
ICS分類：  37.020;17.180
提出單位：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 38)
起草單位：清華大學(xué)化學(xué)系
歸口單位：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 38)
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門：全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 38)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了以電子束為激發(fā)源的俄歇電子能譜(AES,AugerElectronSpectroscopy)的一般表面分析方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于俄歇電子能譜儀。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC38)提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:清華大學(xué)化學(xué)系。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:姚文清、李展平、曹立禮、朱永法。

標(biāo)準(zhǔn)目錄

前言 Ⅲ
1 范圍 1
2 規(guī)范性引用文件 1
3 術(shù)語和定義 1
4 方法原理 1
5 儀器 2
5.1 儀器組成 2
5.2 儀器性能 3
6 樣品 3
7 分析步驟 4
7.1 能量標(biāo)尺校正 4
7.2 AES定性分析及操作步驟 6
7.3 俄歇電子能譜的定量分析 6
7.4 深度剖析 7
7.5 元素化學(xué)態(tài)分析 7
8 分析結(jié)果的表述 7
8.1 俄歇全譜 7
8.2 窄譜 7
8.3 線掃描譜 7
8.4 深度剖析譜 7
8.5 多點(diǎn)顯微對(duì)比分析 8
8.6 樣品表面元素分布圖(Augermap) 8
8.7 分析結(jié)果表述方式 8
圖1 KL1L3 俄歇躍遷 2
圖2 俄歇電子能譜簡(jiǎn)圖 2
圖3 Cu、Au和Al三個(gè)參考物質(zhì)的直接譜和微分譜(相對(duì)能量分辨率0.3%) 5
表1 參考物質(zhì)的俄歇電子動(dòng)能參考值 4

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