国产精品久久久在线观看_亚洲免费观看视频网站_国产盗摄视频一区二区三区_久久久国产一级 - 日本在线观看一区

歡迎來到寰標(biāo)網(wǎng)！ 客服QQ：772084082 加入會員

電子工業(yè)用氣體 硅烷 現(xiàn)行

Gas for electronic industry—Silane

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 15909-2017

獲取原文 如何獲取原文？問客服 獲取原文，即可享受本標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)變更提醒服務(wù)！
基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 15909-2017
發(fā)布時(shí)間：2017-05-31
實(shí)施時(shí)間：2017-12-01
首發(fā)日期：
出版單位：中國質(zhì)檢出版社查看詳情>
起草人：余京松、楊智敏、傅鑄紅、杜漢盛、孫福楠、牛艷東、李長富、周朋云、曲慶、方華、陳鷹、常俠、劉曉霞、周延江、高平洲、徐昕
出版機(jī)構(gòu)：中國質(zhì)檢出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)
起草單位：西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、浙江賽林硅業(yè)有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司、高麥儀器公司、天津長蘆華信化工股份有限公司、大連大特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司、上海計(jì)量測試研究院、化工氣體質(zhì)檢中心等
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會(SAC/TC 203/SC 1)
發(fā)布部門：中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅烷氣體的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全的內(nèi)容。?本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅化鎂法、氫化鋁鈉還原四氟化硅法、氯硅烷歧化工藝法制備的電子工業(yè)用硅烷。 它主要用于制作高純多晶硅、二氧化硅的低溫化學(xué)氣相淀積、氮化硅化學(xué)氣相淀積、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質(zhì)或同質(zhì)硅外延生長原料以及離子注入源和激光介質(zhì)等，還可用于制作太陽能電池、光導(dǎo)纖維和光電傳感器等。?分子式：SiH?4。?相對分子質(zhì)量：32.117（按2011年國際相對原子質(zhì)量）。?

替代情況

會員注冊/登錄后查看詳情

引用標(biāo)準(zhǔn)

會員注冊/登錄后查看詳情

本標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)公告

會員注冊/登錄后查看詳情

采標(biāo)情況

會員注冊/登錄后查看詳情

推薦檢測機(jī)構(gòu)
申請入駐

暫未檢測到相關(guān)機(jī)構(gòu)，邀您申請入駐~

推薦認(rèn)證機(jī)構(gòu)
申請入駐

暫未檢測到相關(guān)機(jī)構(gòu)，邀您申請入駐~

推薦培訓(xùn)機(jī)構(gòu)
申請入駐

暫未檢測到相關(guān)機(jī)構(gòu)，邀您申請入駐~