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表面化學(xué)分析 二次離子質(zhì)譜 用多δ層參考物質(zhì)評(píng)估深度分辨參數(shù)的方法 現(xiàn)行

Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 22572-2008

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 22572-2008
發(fā)布時(shí)間：2008-12-11
實(shí)施時(shí)間：2009-10-01
首發(fā)日期：2008-12-11
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：馬農(nóng)農(nóng)、何友琴、何秀坤
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)與通用方法
ICS分類：化學(xué)分析
提出單位：全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
起草單位：信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心
歸口單位：全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)說(shuō)明了在SIMS深度剖析中，用多δ層參考物質(zhì)評(píng)估前沿衰變長(zhǎng)度、后沿衰變長(zhǎng)度和高斯展寬三個(gè)深度分辨參數(shù)的步驟。由于樣品表面的物理和化學(xué)態(tài)受一次入射離子影響而不穩(wěn)定，本標(biāo)準(zhǔn)不適用于近表面區(qū)域的δ層。

標(biāo)準(zhǔn)摘要

本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ＩＳＯ２０３４１：２００３《表面化學(xué)分析———二次離子質(zhì)譜———用多δ層參考物質(zhì)評(píng)估深度分辨參數(shù)的方法》。
為便于使用，本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)ＩＳＯ２０３４１：２００３做了下列編輯性修改：
———?jiǎng)h除了原國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的前言部分；
———將本國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)改為本標(biāo)準(zhǔn)。
本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ 為規(guī)范性附錄。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位：信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：馬農(nóng)農(nóng)、何友琴、何秀坤。

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