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離子注入機(jī)通用技術(shù)條件 已作廢

Generic specification for ion implantation equipment

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 15862-1995

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 15862-1995
發(fā)布時(shí)間：1995-01-02
實(shí)施時(shí)間：1996-08-01
首發(fā)日期：1995-12-22
出版單位：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：
作廢日期：2013-02-15
出版機(jī)構(gòu)：中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 加工專用設(shè)備
ICS分類：集成電路、微電子學(xué)
起草單位：電子工業(yè)部第四十八研究所
歸口單位：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：信息產(chǎn)業(yè)部（電子）

標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了離子注入機(jī)的術(shù)語、產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)、檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工藝用電能離子注入機(jī)。

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