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X光電子能譜中荷電控制和荷電基準技術標準指南 現行

Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy

標準號：GB/T 31472-2015

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基本信息

標準號：GB/T 31472-2015
發布時間：2015-05-15
實施時間：2016-01-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：李雨辰、何秀坤、劉筠、劉兵、李翔
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 綜合測試系統
ICS分類：電和磁量值的測量
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
起草單位：信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、蘇州晶瑞化學有限公司、天津中環領先材料技術有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規定了 X射線光電子能譜(XPS)的荷電控制和荷電基準技術。本標準適用于 XPS荷電控制和荷電定位技術,不適用于其他電子激發系統。

標準摘要

本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。
本標準起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心、中國電子技術標準化研究院、蘇州晶瑞化學有限公司、天津中環領先材料技術有限公司。
本標準主要起草人:李雨辰、何秀坤、劉筠、劉兵、李翔。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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