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表面化學分析 高分辨俄歇電子能譜儀 元素和化學態分析用能量標校準 現行

Surface chemical analysis—High-resolution Auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental and chemical-state analysis

標準號:GB/T 29731-2013

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基本信息

標準號:GB/T 29731-2013
發布時間:2013-09-18
實施時間:2014-06-01
首發日期:
出版單位:中國標準出版社查看詳情>
起草人:姚文清、王水菊、張占男、牟豪杰、李展平、朱永法。
出版機構:中國標準出版社
標準分類: 基礎標準與通用方法
ICS分類:化學分析
提出單位:全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC38)
起草單位:清華大學、廈門大學。
歸口單位:全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)
發布部門:中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門:全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC 38)

標準簡介

本標準規定了用于表面元素和化學態分析的俄歇電子能譜的動能標校準方法。并且還規定了校準日程安排,用于在中間某一能量值測試動能標線性、在高低動能區各取一點確認標尺校準的不確定度、校正標尺小漂移以及規定在95%置信度時該動能標校準的擴展不確定度(這個不確定度包括實驗室之間研究中觀察到的各種現象,但不涵蓋所有可能的缺陷)。本標準僅適用于配備濺射清潔離子槍的儀器。不適用于以下情況的儀器:動能標尺的誤差隨能量明顯非線性變化;工作于譜儀的相對分辨率低于0.2%的固定ΔE/E 模式或固定ΔE 為1.5eV 模式時,要求容差極限為±0.05eV 或更小。也不適用于電子槍不能在5keV~10keV 能量范圍操作的儀器。本標準不提供全標尺校準檢驗,該檢驗要對每一個在能量標尺上能設定的點加以驗證,且應按儀器制造商的推薦程序進行。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準使用重新起草法修改采用ISO17974:2002《表面化學分析 高分辨俄歇電子能譜儀 元素和化學態分析用能量標校準》。
本標準與ISO17974:2002技術差異及其原因如下:
———關于規范性引用文件,本標準做了具有技術性差異的調整,以適應我國的技術條件,調整的情況集中反映在第2章“規范性引用文件”中,具體調整如下:
● 用GB/T22461—2008代替ISO18115:2001,IDT;
● 增加了GB/T27025—2008代替ISO17025—2005,MOD。
本標準還做了下列編輯性修改:
———將標準名稱修改為《表面化學分析 高分辨俄歇電子能譜儀 元素和化學態分析用能量標校準》;
———將縮略語、圖、表、公式、附注等進行規范性修改。
本標準由全國微束分析標準化技術委員會(SAC/TC38)提出并歸口。
本標準起草單位:清華大學、廈門大學。
本標準主要起草人:姚文清、王水菊、張占男、牟豪杰、李展平、朱永法。

標準目錄

前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范圍 1
2 規范性引用文件 1
3 術語和定義 1
4 符號和縮略語 1
5 方法概述 2
6 校準能量標步驟 5
附錄A (規范性附錄) 以0.1eV能量間隔對譜峰進行Savitzky-Golay單次平滑時的最大點數 16
附錄B(規范性附錄) 用一種簡單的計算方法對峰動能作最小二乘法確定 17
附錄C(資料性附錄) 不確定度的推導 19
附錄D(資料性附錄) 對測得的動能不確定度的引用 21
參考文獻 23

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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