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光伏電池用硅材料中B、Al受主雜質(zhì)含量的二次離子質(zhì)譜測(cè)量方法

Test method for measuring boron and aluminium in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 29851-2013
基本信息
標(biāo)準(zhǔn)號(hào):GB/T 29851-2013
發(fā)布時(shí)間:2013-11-12
實(shí)施時(shí)間:2014-04-15
首發(fā)日期:
出版單位:中國標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人:何友琴、馬農(nóng)農(nóng)、王東雪、何秀坤、裴會(huì)川、馮亞彬、張雪囡
出版機(jī)構(gòu):中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類: 元素半導(dǎo)體材料
ICS分類:半導(dǎo)體材料
起草單位:信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、國家電子功能與輔助材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
歸口單位:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)
發(fā)布部門:中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
主管部門:全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)
標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)測(cè)定光伏電池用硅材料中硼和鋁含量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于光伏電池用硅材料中受主雜質(zhì)硼和鋁含量的定量分析,其中硼和鋁的濃度均大于1×1013atoms/cm3。其他受主雜質(zhì)的測(cè)量也可參照本標(biāo)準(zhǔn)。
標(biāo)準(zhǔn)摘要
本標(biāo)準(zhǔn)按照GB/T1.1—2009給出的規(guī)則起草。 請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任。 本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)提出并歸口。 本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:信息產(chǎn)業(yè)專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、國家電子功能與輔助材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司。 本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:何友琴、馬農(nóng)農(nóng)、王東雪、何秀坤、裴會(huì)川、馮亞彬、張雪囡。 |
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