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氯硅烷中碳含量的測定 氣相色譜質譜聯用法
基本信息
標準號：YS/T 987-2021
發布時間：2021-12-02
實施時間：2022-04-01
首發日期：
出版單位：冶金工業出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：冶金工業出版社
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
標準簡介
本文件規定了氣相色譜質譜聯用法測定氯硅烷中碳雜質含量的方法。 本文件適用于氯硅烷中碳雜質（包括氯硅烷中的甲基二氯硅烷、甲基三氯硅烷、二甲基一氯硅烷、二甲基二氯硅烷、三甲基一氯硅烷，統稱甲基氯硅烷）含量的測定，測定范圍 （質量分數）為 0.000 010%～0.10%。
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