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吸氣劑金屬釋放特性測試方法 現行

Test methods for metal releasing characteristics of getters

標準號：GB/T 25495-2010

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基本信息

標準號：GB/T 25495-2010
發布時間：2010-12-01
實施時間：2011-05-01
首發日期：1986-07-25
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：薛函迎、郭衛斌、張巨先、劉筠
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子技術專用材料
ICS分類：  31.030
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
起草單位：南京華東賽斯真空材料有限公司、工業和信息化部電子工業標準化研究所、中國電子科技集團公司第十二研究所
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會

標準簡介

本標準規定了吸氣劑金屬釋放特性測試方法,如釋汞吸氣劑的總釋汞量、標準釋汞量、釋汞特性曲線及熱穩定性的測試方法、蒸散型鋇吸氣劑得鋇量的測試方法、摻氮吸氣劑鋇膜分布測試方法。本標準適用于真空器件用吸氣劑。

標準摘要

本標準是將以下標準整合后進行修訂的:
———GB/T6626.1—1986《釋汞吸氣劑性能測試方法 釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法》;
———GB/T9506.6—1988《摻氮吸氣劑鋇膜分布測試方法》;
———GB/T9506.2—1988《蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測試方法》。
本標準與原標準相比主要變化如下:
———取消釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法中的名詞術語,在規范性引用文件中新增GB/T4314《吸氣劑術語》;
———將GB/T6626.1—1986《釋汞吸氣劑性能測試方法 釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法》與GB/T9506.2—1988《蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測試方法》中的測試系統、方法合并;
———取消試驗設備中的無脂球閥;
———將試驗中測試室的尺寸按使用用途分類改為按金屬釋放量分類;
———將釋汞量、得鋇量加熱完后稱重時間由15min更改為5min內;
———釋汞特性曲線的測試由400℃開始提高到500℃開始;
———取消平均值、標準偏差的計算方法;
———取消得鋇量一致性測試;
———取消測試報告格式;
———將GB/T9506.2—1988《蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測試方法》中的蒸散曲線繪制方法中的起蒸時間的控制表述進行修訂;
———根據GB/T1.1—2000的要求進行格式修訂。
本標準代替下列標準:
———GB/T6626.1—1986《釋汞吸氣劑性能測試方法 釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法》;
———GB/T9506.6—1988《摻氮吸氣劑鋇膜分布測試方法》;
———GB/T9506.2—1988《蒸散型鋇吸氣劑得鋇量測試方法》。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口。
本標準起草單位:南京華東賽斯真空材料有限公司、工業和信息化部電子工業標準化研究所、中國電子科技集團公司第十二研究所。
本標準主要起草人:薛函迎、郭衛斌、張巨先、劉筠。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
———GB/T6626.1—1986;
———GB/T9506.6—1988;
———GB/T9506.2—1988。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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