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六氯乙硅烷組分含量的測定氣相色譜法
基本信息
標準號：YS/T 1434-2021
發布時間：2021-12-02
實施時間：2022-04-01
首發日期：
出版單位：冶金工業出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：冶金工業出版社
發布部門：中華人民共和國工業和信息化部
標準簡介
本文件規定了六氯乙硅烷中三氯氫硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他組分含量的氣相色譜測定方法。 本文件適用于六氯乙硅烷中三氯氫硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他組分含量的測定，各組分的測定范圍（質量分 數）為不小于 0.001%。
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