基本信息
標準號：YS/T 1290-2018
發(fā)布時間：2018-10-22
實施時間：2019-04-01
首發(fā)日期：
出版單位：冶金工業(yè)出版社查看詳情>
起草人：
出版機構：冶金工業(yè)出版社
發(fā)布部門：工業(yè)和信息化部
標準簡介
本標準規(guī)定了硅烷法生產(chǎn)多晶硅尾氣中硅烷含量的氣相色譜測定方法。本標準適用于硅烷法生產(chǎn)多晶硅尾氣中硅烷含量的測定。測定范圍為0.050%～10.00%。
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