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電子工業(yè)用氣體 高純氯 已作廢

Gases for electronic industry—High purity chlorine

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 18994-2003

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 18994-2003
發(fā)布時(shí)間：2003-03-05
實(shí)施時(shí)間：2003-08-01
首發(fā)日期：2003-03-05
出版單位：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社查看詳情>
起草人：孔祥芝、佘中玉
作廢日期：2015-07-01
出版機(jī)構(gòu)：中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
提出單位：原化學(xué)工業(yè)部
起草單位：光明化工研究設(shè)計(jì)院
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
發(fā)布部門：中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局
主管部門：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體高純氯產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和安全要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于以工業(yè)液氯為原料，采用物理吸附等過程生產(chǎn)的高純氯產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、高溫超導(dǎo)、鋁加工等高新技術(shù)領(lǐng)域。

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