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電子工業用氣體 高純氨
電子工業用氣體 高純氨 已作廢
Gases for electronic industry. High purity ammonia
標準號：GB/T 14601-1993
基本信息
標準號：GB/T 14601-1993
發布時間：1993-08-26
實施時間：1994-07-01
首發日期：1993-08-26
起草人：
作廢日期：2010-05-01
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導體材料和設備標準化技術委員會
發布部門：國家技術監督局
主管部門：國家標準化管理委員會
標準簡介
本標準規定了電子工業用氣體高純氨的技術要求，試驗方法，檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。本標準適用于瓶裝高純氨。該產品主要用于半導體工業，氮化硅的化學氣相淀積，也可用于硅或氧化硅的氮化。
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