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電子工業(yè)用氣體 三氟化硼 已作廢

Gases for electronic industry. Boron trifluoride

標準號：GB/T 14603-1993

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基本信息

標準號：GB/T 14603-1993
發(fā)布時間：1993-08-26
實施時間：1994-07-01
首發(fā)日期：1993-08-26
起草人：
作廢日期：2010-05-01
標準分類： 工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類：工業(yè)氣體
起草單位：化工部西南化工研究院
歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會
發(fā)布部門：國家技術(shù)監(jiān)督局
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規(guī)定了三氟化硼產(chǎn)品的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、包裝、標志、運輸、貯存和安全要求。本標準適用于以氟硼酸鈉為原料，采用熱分解法制得的三氟化硼。主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)的離子注入和摻雜。

替代情況

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引用標準

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采標情況

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