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單晶爐 TDR系列直拉法單晶爐 廢止

Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：JB/T 10439-2004

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基本信息

標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：JB/T 10439-2004
發(fā)布時(shí)間：2004-03-12
實(shí)施時(shí)間：2004-08-01
首發(fā)日期：
出版單位：機(jī)械工業(yè)出版社查看詳情>
起草人：陳巨才
作廢日期：2017-05-12
出版機(jī)構(gòu)：機(jī)械工業(yè)出版社
標(biāo)準(zhǔn)分類： 工業(yè)電熱設(shè)備
ICS分類：電爐
提出單位：中國(guó)機(jī)械工業(yè)聯(lián)合會(huì)
起草單位：西安理工大學(xué)晶體生長(zhǎng)設(shè)備研究所
歸口單位：全國(guó)工業(yè)電熱設(shè)備標(biāo)委會(huì)
發(fā)布部門：中華人民共和國(guó)國(guó)家發(fā)展和改革委員會(huì)

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了對(duì)TDR系列直拉法單晶爐的各項(xiàng)要求，包括品種規(guī)格、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及訂購(gòu)和供貨等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于直拉法拉制半導(dǎo)體硅、鍺等單晶的單晶爐。

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