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電子工業用氣體 高純氯 現行

Gases for electronic industry—High purity chlorine

標準號：GB/T 18994-2014

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基本信息

標準號：GB/T 18994-2014
發布時間：2014-12-22
實施時間：2015-07-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：周鵬云、常俠、廖恒易、方華、劉新明、汪正宏、楊任
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
起草單位：西南化工研究設計院有限公司、光明化工研究設計院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、太和氣體(荊州)有限公司、上海儀盟科技有限公司
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：國家標準化管理委員會

標準簡介

本標準規定了高純氯的技術要求、試驗方法、檢驗規則及包裝、標志、運輸和儲存。本標準適用于以工業液氯為原料,采用物理吸附等過程生產的高純氯產品。該產品主要用于大規模集成電路、光導纖維、高溫超導、平板顯示器、太陽能等技術領域。分子式:Cl2。相對分子質量:70.90(按2009年國際相對原子質量計算)。

標準摘要

本標準按照 GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準代替 GB/T18994—2003《電子工業用氣體 高純氯》。與 GB/T18994—2003相比,除編輯性修改外主要技術內容變化如下:
———修改了范圍(見第1章,2003年版的第1章);
———修改了規范性引用文件(見第2章,2003年版的第2章);
———修改了技術要求(見第3章,2003年版的第3章);
———修改了抽樣、判定(見4.1,2003年版的第5章);
———刪去了取樣裝置的規定(2003年版的4.1);
———修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烴含量的測定方法(見4.3,2003年版的4.3、4.4);
———增加了氫含量的測定方法(見4.3);
———修改了水分含量的測定方法(見4.4,2003年版的4.5);
———增加了金屬元素含量的測定方法(見4.5);
———修改了標志、包裝、貯運及安全(見第5章,2003年版的第6、7章)。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)提出并歸口。
本標準起草單位:西南化工研究設計院有限公司、光明化工研究設計院有限公司、佛山市華特氣體有限公司、上海華愛色譜分析技術有限公司、太和氣體(荊州)有限公司、上海儀盟科技有限公司。
本標準主要起草人:周鵬云、常俠、廖恒易、方華、劉新明、汪正宏、楊任。
本標準所代替標準的歷次版本發布情況為:
———GB/T18994—2003。

替代情況

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引用標準

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本標準相關公告

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采標情況

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