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吸氣劑氣體吸放性能測試方法
吸氣劑氣體吸放性能測試方法 現行
Test methods for gas absorbency and release of getters
標準號：GB/T 25497-2010
基本信息
標準號：GB/T 25497-2010
發布時間：2010-12-01
實施時間：2011-05-01
首發日期：1986-07-25
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：薛函迎、郭衛斌、張巨先、劉筠
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 電子技術專用材料
ICS分類：
31.030
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
起草單位：南京華東賽斯真空材料有限公司、工業和信息化部電子工業標準化研究所、中國電子科技集團第十二研究所
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
標準簡介
本標準規定了吸氣劑放氣量的測試方法、摻氮吸氣劑釋氮吸氣動態曲線的測試方法、釋汞吸氣劑放氣回吸曲線的測試方法、定壓法吸氣性能測試方法、定容法吸氣性能測試方法等吸氣劑氣體吸放性能測試方法。本標準適用于真空器件用吸氣劑。
標準摘要
|
本標準是將以下標準整合后進行修訂的: ———GB/T6626.3—1986《釋汞吸氣劑性能測試方法 釋汞吸氣劑放氣量的測試方法》; ———GB/T9506.4—1988《吸氣劑放氣量測試方法》; ———GB/T9506.5—1988《摻氮吸氣劑釋氮吸氣動態曲線測試方法》; ———GB/T9506.7—1988《蒸散型鋇吸氣劑吸氣性能測試方法》; ———GB/T9506.8—1988《非蒸散型吸氣劑吸氣性能測試方法》。 本標準與原標準相比主要變化如下: ———刪除定義的術語,在規范性引用文件中新增GB/T4314《吸氣劑術語》; ———將蒸散型與非蒸散型吸氣性能的測試方法合并為定壓法的吸氣性能測試方法,修訂相應的測試設備要求。如對定壓法測試分子流狀態時的吸氣性能系統的漏放率要求由統一的 1×10-7 Pa·L/s,改為在滿足測試準確度要求的前提下,按特征吸著容量進行計算,吸氣量大的吸氣劑可以適當放寬; ———將定壓法測試非蒸散型吸氣劑的氣體純度的要求由99.8%提高到99.99%; ———將定壓法測試蒸散型吸氣劑吸氣性能時,測不可吸收氣體壓強的時間由15 min 延長到25min; ———取消釋汞吸氣劑加熱升溫曲線,改為30s內線性加熱到900°; ———去除GB6626.1—1986《釋汞吸氣劑性能測試方法 釋汞吸氣劑釋汞特性的測試方法》中附錄A 關于清洗含汞玻璃系統的部分; ———取消釋汞吸氣劑和非蒸散型吸氣劑放氣量計算時的氣體修正系數; ———取消比放氣量的計算; ———將蒸散型吸氣劑放氣量測試的起蒸時間由按使用領域劃分更改為按含鋇(鈣…)量劃分; ———取消GB/T9506.4—1988《吸氣劑放氣量測試方法》中附錄B 吸氣劑測試系統容積的推薦值; ———取消GB/T9506.5—1988《摻氮吸氣劑釋氮吸氣動態曲線測試方法》中關于蒸散線圈的要求; ———增加釋汞吸氣劑放氣回吸動態曲線測試方法; ———增加定容法吸氣性能測試方法; ———增加各溫度的汞飽和蒸氣壓; ———根據GB/T1.1—2000的要求進行格式修訂。 本標準代替下列標準: ———GB/T6626.3—1986《釋汞吸氣劑性能測試方法 釋汞吸氣劑放氣量的測試方法》; ———GB/T9506.4—1988《吸氣劑放氣量測試方法》; ———GB/T9506.5—1988《摻氮吸氣劑釋氮吸氣動態曲線測試方法》; ———GB/T9506.7—1988《蒸散型鋇吸氣劑吸氣性能測試方法》; ———GB/T9506.8—1988《非蒸散型吸氣劑吸氣性能測試方法》。 本標準的附錄A、附錄B、附錄C是規范性附錄。 本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口。 本標準起草單位:南京華東賽斯真空材料有限公司、工業和信息化部電子工業標準化研究所、中國電子科技集團公司第十二研究所。 本標準主要起草人:薛函迎、郭衛斌、張巨先、劉筠。 |
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