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微機電系統（MEMS）技術　微機械量評定總則 現行

Micro-electromechanical system technology—General rules for the assessment of micro-mechanical parameters

標準號：GB/T 26112-2010

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基本信息

標準號：GB/T 26112-2010
發布時間：2011-01-10
實施時間：2011-10-01
首發日期：2011-01-10
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：胡曉東、丁紅宇、劉偉、張蘋、景蔚宣、蔣莊德、劉沖、張文棟、趙則祥
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 微電路綜合
ICS分類：集成電路、微電子學
提出單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
起草單位：天津大學、中機生產力促進中心、西安交通大學、大連理工大學、太原理工大學、中原工學院
歸口單位：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)
發布部門：中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
主管部門：全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC 336)

標準簡介

本標準規定了微機械量的評定基本原則、評定要素、評定程序、評定方法以及評定規則。本標準適用于企業、研究機構、檢測機構從事微機電技術及產品的研究、設計、生產、檢測及使用。

標準摘要

本標準按照GB/T1.1—2009給出的規則起草。
本標準由全國微機電技術標準化技術委員會(SAC/TC336)提出并歸口。
本標準起草單位:天津大學、中機生產力促進中心、西安交通大學、大連理工大學、太原理工大學、中原工學院。
本標準主要起草人:胡曉東、丁紅宇、劉偉、張蘋、景蔚宣、蔣莊德、劉沖、張文棟、趙則祥。

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引用標準

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