電子特氣 三氟化氮 即將實施
Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride
標準號：GB/T 21287-2021
基本信息
標準號：GB/T 21287-2021
發布時間：2021-10-11
實施時間：2022-05-01
首發日期：
出版單位：中國標準出版社查看詳情>
起草人：王娟、付夢月、王少波、孟祥軍、傅鑄紅、陳艷珊、馬建修、何經余、曹素英、宋富財、蘇子杰、丁高松、裴友宏、韋杰廣、史婉君、張建君、王新喜、孫猛、鬲春利、張琦炎、呂博文、陳潔、吳靚、方華、依俊廷、何波、楊康、黃輝、宮兵、王大為、易達文、李陽、梁永強、梁成科等
出版機構：中國標準出版社
標準分類： 工業氣體與化學氣體
ICS分類：工業氣體
提出單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
起草單位：昊華氣體有限公司、中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司、西南化工研究設計院有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、天津綠菱氣體有限公司、福建久策氣體股份有限公司、海寧市英德賽電子有限公司、江西華特電子化學品有限公司、浙江省化工研究院有限公司等
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)
發布部門：國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
標準簡介
本文件規定了電子級三氟化氮的技術要求、檢驗規則、試驗方法、標志、包裝、運輸貯存及安全信息的要求。本文件適用于以無水氟化氫與液氨為原料制備提純，或以氟化氫銨為原料制備提純得到的三氟化氮。
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